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产品介绍
TEX-300 半自动扩膜机
品牌:TV
编号:扩膜机系列
应用场景:在切割后的组装工序

因为晶圆切割后的街道宽度非常窄,在搬运中需防止脱落及破损,所以在处理wafer时需要细心注意 TEX系列“wafer Expaner”将加工后的街道宽度全部跨越芯片,向X-Y方向均匀扩展。通过这种处理,可以消除上述问题,进而使芯片的拾放更容易,顺利的进行芯片接合工序的安装工作。扩展原理是将全切割后的晶片连同切割膜一起在扩展阶段拉伸,将芯片间隔/街道宽度扩展到适当的宽度。可支持12寸wafer的扩膜需求。

技术优势

・ 可以均匀扩展街道宽度(切割槽宽度) 
・ 扩展精度、重复精度好 
・ 扩展率及扩展速度可变 
・ 搭载数据的扩展舞台 
・ 使用扩晶环固定。内环作为扩展环,外环作为扩展后的晶片/膜的自动把手使用。 
・简单机械、免维护
・设置滤波器自动切断功能

技术参数

可支持12寸wafer的扩膜需求