WPS3200 晶圆包装与拆封系统 WPS3200是被设计用于处理各种类型晶圆盒的包装和拆封过程。此系统适用于6英寸和8英寸晶圆。该系统配备了用于晶圆定位和定向的晶圆预对准器，以及用于OCR和2D矩阵码读取的晶圆ID 读取器。此外，WPS3200还配备了用于晶圆、衬纸、隔离纸或环形垫片检测的内置视觉传感器，以及高精度的机械臂和内置高度传感器。系统还搭配晶圆扫描和位置感测器，可在操作过程 中检测任何晶圆交叉位置或晶圆叠片问题。
• 用于晶圆罐搬运的笛卡尔机器人模块（可选）
• 用于晶圆盒的晶圆环分离器处理模块（可选）
• 2个带集成晶圆突出检测传感器的开放式晶圆 匣基站（6英寸和8英寸通用） • 2个晶圆罐站（可配置为1个晶圆桶和1个晶圆 罐，可选配笛卡尔机器人模块）
• 1个衬纸端口（在6英寸和8英寸之间自动转换）
• 平田（Hirata）4轴机械臂，具有晶圆翻转功能
• 用于晶圆、衬纸或环形垫片检测的内置颜色传感器，以及在盒和晶圆罐装载端口上用于机器 人操作精度的内置高度传感器，(“分离器晶 圆盒”端口上的1个高度传感器。）