因为晶圆切割后的街道宽度非常窄,在搬运中需防止脱落及破损,所以在处理wafer时需要细心注意 TEX系列“wafer Expaner”将加工后的街道宽度全部跨越芯片,向X-Y方向均匀扩展。通过这种处理,可以消除上述问题,进而使芯片的拾放更容易,顺利的进行芯片接合工序的安装工作。扩展原理是将全切割后的晶片连同切割膜一起在扩展阶段拉伸,将芯片间隔/街道宽度扩展到适当的宽度。可支持4寸、5寸、6寸、8寸wafer的扩膜需求。
・ 可以均匀扩展街道宽度(切割槽宽度)
・ 扩展精度、重复精度好
・ 扩展率及扩展速度可变
・ 搭载数据的扩展舞台
・ 使用扩晶环固定。内环作为扩展环,外环作为扩展后��晶片/膜的自动把手使用。
・简单机械、免维护
如下可选 :
・设置滤波器自动切断功能
・安全开关(双开关)
・信号塔
・减震器规格
・其他各种各样
可支持4寸、5寸、6寸、8寸wafer的扩膜需求