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产品介绍
晶圆边抛机
品牌:BBS
编号:
应用场景:半导体前道,边抛机

晶圆边抛机,边缘和边缘滚降(ERO)对边缘三面的统一加工。利用离心力,紧贴边缘形状加工。产能提高到1.5倍(双轴)

技术优势

边缘和边缘滚降(ERO)对边缘三面的统一加工
Stable process to edge/top/down side
利用离心力,紧贴边缘形状加工
To work centrifugalforce 
产能提高到1.5倍(双轴)
/UPH upto 1.5 times(DualAxis)

技术参数

最大可对应到450mm/(MAX to 450mm)