晶圆边抛机,边缘和边缘滚降(ERO)对边缘三面的统一加工。利用离心力,紧贴边缘形状加工。产能提高到1.5倍(双轴)
边缘和边缘滚降(ERO)对边缘三面的统一加工Stable process to edge/top/down side利用离心力,紧贴边缘形状加工To work centrifugalforce 产能提高到1.5倍(双轴)/UPH upto 1.5 times(DualAxis)
最大可对应到450mm/(MAX to 450mm)