WTS300G 晶圆批量搬运系统 WTS300G设计用于对晶圆进行批量传送。系统具有传送模式如批量传送（25片晶圆直接从开放式晶圆匣传送至另一个开放式晶 圆匣）、分开模式、合并模式或翻转6英寸晶圆和8英寸晶圆。 适用晶圆匣类型为有26个插槽、25个插槽和13个插槽的SEMI标 准开放式晶圆匣。它由四个加载端口组成，其中三个为载入加 载端口，一个为载出加载端口。该系统配备高精度反射式传感 器，用于检测晶圆突出。