WPS3800 晶圆包装与拆封系统 WPS3800是被设计用于处理各种类型晶圆盒的包装和拆封过程。 此系统适用于8英寸和12英寸晶圆。该系统配有两个用于8英寸 SEMI标准开放式晶圆匣和12英寸FOUP晶圆匣或12英寸FOSB晶圆匣 的加载端口，两个用于8英寸晶圆盒和12英寸晶圆盒的加载端口 （可配置1个晶圆盒和1个配备可选笛卡尔机器人模块的晶圆罐）， 以及一个用于衬纸或隔离纸的端口（用于8英寸和12英寸晶圆的 自动转换）。WPS3800内置用于晶圆、衬纸或环形垫片检测的视 觉传感器，以及在晶圆盒和晶圆罐装载端口上配备内置高度传感 器，以确保机器人在拾取和放置过程中的准确性。