全自动或半自动模式来清洗切割后的产品
可⾃⾏设定所需的清洗程序来维持稳定的清洗质量及效率

全自动 / 半自动 清洗机 
二流体清洗喷嘴 
客制化工作盘 (Frame Max Size : 400 x 400 mm) 
10 sets of recipe saving 
Option ：
 FOUP / FOSB Load Port 
 HEPA 
 Coating function 
 Frame scan only for Fully Auto