前开式晶圆传送盒:( FOUP)
专为晶圆制程量身打造的传载具
可装载13-25片晶圆
使用低吸湿性材料与结构，提升微污染防制效能最佳化的晶圆支架设计，能有效克服晶圆翘曲问题

12寸前开式晶圆传送盒