WSS8000 晶圆搬运系统 WSS8000是被设计用于传送晶圆从晶圆匣至另外一个晶圆匣里。 该机器设计有两个标准装载端口，可装载8英寸SEMI标准开放式 晶圆匣、12英寸FOUP晶圆匣和12英寸FOSB晶圆匣。系统还搭配 晶圆扫描和位置感测器，可在操作过程中检测任何晶圆交叉位 置或晶圆叠片问题。机械臂与末端执行器集成，使用伯努利或 真空抽吸类型（取决于晶圆特征）将晶圆转移到输出盒。 WSS8000能够通过晶圆ID分拣、顺序分拣、拖放分拣、子批次晶 圆分拣和槽对槽分拣等五种分拣方式进行晶圆传送。