WIS1100被设计用于检测(目检)4英寸和6英寸的晶圆尺寸，用于半导体行业的光学检查、晶圆图和瑕疪分类管理。该系统配有高性能的前后晶圆宏观检测系统，包括微观检测系统。此外， 微观检测系统集成了尼康Eclipse L200N和5个电动物镜。晶圆对位器是为了确保卸载前晶圆居中和定位的准确性，OCR读取器用于从主机服务器进行映射检索，
•专为4英寸和 6英寸晶圆设计
• 微观和宏观检查（包括背面宏观检查）
• 明视野、暗视野和NIC模式
•带有5个物镜的电动换镜旋座（2.5x，5x，10x， 20x，50x）
• 集成晶圆离子中和器和可编程XY索引
• 备有晶圆对位和晶圆映射
• 用户定义的拒收代码和检验后的汇总批次报告
• 集成喷墨打标机进行瑕疪标记(可选)
• 配备配方控制模块、晶圆图、匣式图和显微镜 组件控制的软件用户界面。
• TCP-IP和RS232数据接口/SECS/GEM数据通信 （可选）