WIS1000被设计用于检测(目检)6英寸和8英寸的晶圆。标准设计 配有一个标准加载端口，可容纳6英寸和8英寸SEMI标准开放式 晶圆匣。操作员可使用该系统进行晶圆检测、并把检测结果记 录在晶圆图上，并通过晶圆图的空间分布情况及其模型分析， 找出可能发生低良率的原因。此设备集成了尼康(Nikon)晶圆自 动加载器，高倍率显微镜和可编程XY平台，用于宏观和微观检 查。它不仅可以对晶圆正面与背面进行宏观检查，还可以对晶 圆正面进行微观检查。可选择另外升级喷墨打标模块，用于标记在已检测的瑕疵芯片。