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产品介绍
FM-903S 半自动贴膜机
品牌:TV
编号:贴膜机系列
应用场景:适用于切割

FM-903S半自动贴膜机用于wafer正面/背面保护。除了装载和卸载,其余的过程自动实现。只需操作员设置晶圆/切割框架,然后移除成品。用于wafer正面/背面保护。可搭配晶圆处理机器人,实现全自动的“盒式到盒式”。可有效提高产能。适用于最大200mm的wafer。

技术优势

・ 晶圆/薄膜/切割框架的可重复且坚固的覆膜处理。 
・ 操作简单,对操作员无特殊技术要求 
・ 无气泡工艺 
・ 残膜的清洁切割 
・ 保护膜片自动卷取 
・辊子与工作台平行度自动调整 
・可调覆膜速度 
・ 薄膜切割速度调节方便 
・ 滚筒压力调节方便 
・ 具有卓越功能和操控性的触摸面板 
・ 胶片切割自动监控功能 
・ 自动通知“覆膜结束” 
・必要时的安全联锁功能

技术参数

适用于最大200mm