WIS8000设计用于检测(目检)8英寸和12英寸尺寸的晶圆。标准设计配有两个标准加载端口，可容纳12英寸SEMI 标准FOUP、12 英寸SEMI 标准FOSB和8英寸SEMI 标准开放式晶圆匣。它可以升级为三个加载端口。操作员可使用此系统对晶圆进行宏观和微观检测，并把检测结果记录在晶圆图上。此系统还配有晶圆传送能力以及可对晶圆ID进行读取记录。
• 专为8英寸和12英寸晶圆设计
• 配备2个可容纳 FOUP/FOSB 的平田（Hirata） FOUP 端口，需要平田（Hirata）适配器用于 8 英寸开放式晶圆匣。
• R-θ晶圆处理系统
• 平田（Hirata）晶圆对位器（8英寸和12英寸 晶圆）
• 备有真空吸盘的可编程电动载物台
• 晶圆图系统
• 防振隔离平台
• IOSS WID120 OCR读取器
• TCP-IP和RS232数据接口