WTS100G 晶圆批量搬运系统 WTS100G设计用于对晶圆进行批量传送。系统具有传送模式如批 量传送（25片晶圆直接从开放式晶圆匣传送至另一个开放式晶 圆匣）、分开模式、合并模式或翻转4英寸晶圆和6英寸晶圆。 它由两个加载端口组成，一个载入加载端口和一个载出加载端 口。加载端口配备高精度传感器，用于晶圆位置扫描感测和晶 圆匣放置检测。根据该工具的分拣方法，晶圆从4英寸SEMI标准 开放式晶圆匣转移到4英寸SEMI标准开放式/翻盖式晶圆匣，或 从6英寸SEMI标准开放式晶圆匣转移到6英寸SEMI标准开放式/翻 盖式晶圆匣。