WSS2150W设计用于测量6英寸晶圆重量，并根据测量结果传送和 分类至不同晶圆匣里。此系统搭配了高精度平田（Hirata）4轴 双臂ATM机械手臂以及晶圆预对准器，可以对晶圆进行准确的传 送。设备还使用了（Mettler Toledo）高精度的晶圆重量测量 仪器，能精准的测量晶圆重量并进行传送和分类。
• 触摸屏HMI，配备用于重量分拣的定制软件
• TCP/IP网络接口或SECS/GEM数据通信（可选）
• 专为6英寸晶圆设计
• 梅特勒-托利多（Mettler Toledo）高精度称重模块，配备定制设计外壳的WXT 系列。
• 平田（Hirata）4轴双臂ATM机器手臂
• IOSS WID120 OCR读取器集成到6英寸晶圆的平 田（Hirata）预对准器模块中
• 3个配备4个加载端口的工作单元(LP1用于Peek 晶圆匣，LP2、LP3和LP4采用通用设计，可接 受翻盖式或半高开放式晶圆匣，并可转换。）