WID150R 晶圆批号ID读取器系统 WID150R主要是被设计用于读取6英寸晶圆的ID。所读取的晶圆 ID会直接储存于PC或上传至客户的服务器里。该系统适用于6英 寸SEMI标准开放式晶圆匣，并配有内置的可编程晶圆定向平面 对准，以确保在扫描ID前晶圆处于正确的定向。此外，WID150R 配备触摸面板PC和GUI定制。易于操作的用户系统界面帮助用户 轻松进行操作。
• 1个开放式晶圆匣（基于提供的样本晶圆匣）
• 晶圆匣方向传感器（检测晶圆匣的反向放置）， 晶圆匣状态和晶圆匣倾斜传感器。
• 匣内晶圆插槽映射功能
• 集成晶圆定向平面对位机构
• 专为6英寸晶圆设计
• 用于各种晶圆ID位置的可编程晶圆旋转
• 批量晶圆ID读取（正背面以及定向平面区域的晶 圆ID）
• 配方设置、对位和晶圆ID读取
• SECS/GEM通信工具（可选）